韓経:「超精密半導体検査装備」を開発…日本製押さえサムスンに納品

  • 2019年9月17日

韓国機械研究院先端生産装備研究本部の超精密システム研究室で研究員が試験に熱中している。[写真 韓国機械研究院]

「素材・部品・装備産業の競争力強化は日本の経済報復を体験していなくても、現在のこの事態が解決されても必ず進まなければならない道です」。

李洛淵(イ・ナギョン)首相は先月韓国機械研究院で開かれた素材・部品・装備競争力強化に向けた懇談会に参加しこのように強調した。

機械研究院は日本の輸出規制以前から韓国の素材・部品・装備産業の強化に向け研究開発と技術移転を着実に推進してきたと評価される。輸入に依存した素材・部品・装備を早期に国産化しただけでなく輸出する成果を上げてもいる。

代表的事例が300ミリウエハー用高精密度プローブステーションだ。ウエハープローブ ステーションは半導体工程の核心検査装備だ。半導体ウエハーチップの中のパッドに微細な針を接触させ電気的信号で半導体チップ状態を点検する。

半導体製造装備メーカーのセクロン(現セメス)と機械研究院は3年間の共同開発の末に2009年に300ミリウエハー用高精密度プローブステーションを商用化するのに成功した。当時は技術力でリードする日本企業などが韓国市場を80%以上占有していた。セクロンと機械研究院はTELなど日本企業の装備より検査精密度を高め競争優位を確保した。この装備をサムスン電子に納品して外国製を代替した。機械研究院関係者は「産研が共同開発した国産化装備が世界最高水準の技術競争力を確保し半導体工程の国産化に寄与した。自負心を持てるほどの優秀な事例」と話した。

日本の東芝と米国のムーアなどから全量輸入してきた光学フィルム加工用パターンロール金型加工機の国産化にも機械研究院の研究開発が大きな役割をした。この装備はテレビ、ノートパソコンなど液晶パネルのバックライトユニットを構成する微細パターン光学フィルムを生産するための加工装置だ。機械研究院とJSプレシジョンは2009年に光学フィルム加工用パターンロール金型加工機開発に成功した。当時の研究責任者が現在機械研究院を率いているパク・チョンホン院長だ。機械研究院から技術を受け継いだJSプレシジョンは2014年から国内生産を始めた。現在までの輸入代替効果は約300億ウォンと推定される。2015年からは中国に輸出するなど海外市場進出にも成功した。