韓経:SKマテリアルズ、フッ化水素の韓国産化に着手

  • 2019年7月26日

韓国SKグループが半導体製造に使われる高純度フッ化水素(エッチングガス)の国産化に入った。今月初め、日本政府の韓国向け半導体材料の輸出規制に対するグループ次元の対応という解釈だ。

SKグループ系列会社であるSKマテリアルズ関係者は25日、「高純度フッ化水素の量産のための投資に出ることにした」とし「今年末までにサンプルを生産する計画」と明らかにした。この関係者は「まだ具体的な投資規模などは確定していない」とし「慶尚北道栄州(キョンサンブクド・ヨンジュ)や蔚山(ウルサン)、清州(チョンジュ)工場のうち1カ所に設備投資をする方向で検討中」と伝えた。

SKマテリアルズは半導体ディスプレーパネルの製造に使われる特殊ガスを生産する会社だ。SK(株)が株式の49%を所有している。昨年の売り上げは6873億ウォン(約631億円)だ。

SKマテリアルズが開発に入ったフッ化水素は高純度製品だという。フッ化水素は半導体製造時、シリコンウェハーの異質物を除去する工程に使われる核心材料だ。韓国のフッ化水素輸入量の41.9%が日本産だ。99.999%以上の高純度フッ化水素は90%以上を日本からの輸入に頼っている。

業界では日本政府のフッ化水素輸出規制が長期化する可能性に備えてSKハイニックスを系列会社に置くSKグループが独自に開発に乗り出したという見方が出ている。SKマテリアルズの関係者は「これまで原料となるフッ素を扱ってきて、精密ガス技術力とノウハウを通じて高純度フッ化水素を製造できる基盤を備えた」と話した。